第524章进步(1 / 2)
第524章 进步
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合肥,华光光刻精密设备公司国家重大技术装备验收组一行首长看得很认真,只见眼前的工作台上放着一台全新的光刻机,长宽大约一米左右,高约1.5米,设备结构与之前的银汞灯紫外线光刻机有着明显的区别,设备看上去更加复杂了。
一旁的学部委员,光刻机研究项目总负责人唐九华,正在作着介绍:“各位领导,这台新型66式光刻机采用了新型g线高压银汞灯紫外线蓝光技术,波长为436纳米,它改进了过去的多制程曝光光刻工艺的缺点,采用了全新的扫描式光刻工艺,最高可实现1微米光刻。
四机部王争部长仔细的观察着光刻机,问道:“它的稳定制程能达到多少?quot;根据我们的实验测算,1微米制程合格率为
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